方案。n
哈工的这个“放电等离体极紫外光刻光源”，名字上它走的是DPP方案。n
DPP方案的一个问题是光源的焦点功率不足。n
光刻机的光源是来烧石头（单晶硅）的，功率不足烧不，法蚀刻芯片。n
在，因专利的限制，走DPP方案的EUV光刻机研旧，是比走LPP方案容易的。n
虽DPP方案法商，暂且法在EUV光刻机身上，DPP方案技术是进步的。n
DPP方案本身优势不，比光源稳定、清洁度求低，及本更低。n
并且，陈平江不将机蛋放在一个篮。n
除了哈工这头，XX光电沪上某研旧有资助，进度不一，路线不。n
任何一方取终突破，提产EUV光刻机问世的间。
哈工的这个“放电等离体极紫外光刻光源”，名字上它走的是DPP方案。n
DPP方案的一个问题是光源的焦点功率不足。n
光刻机的光源是来烧石头（单晶硅）的，功率不足烧不，法蚀刻芯片。n
在，因专利的限制，走DPP方案的EUV光刻机研旧，是比走LPP方案容易的。n
虽DPP方案法商，暂且法在EUV光刻机身上，DPP方案技术是进步的。n
DPP方案本身优势不，比光源稳定、清洁度求低，及本更低。n
并且，陈平江不将机蛋放在一个篮。n
除了哈工这头，XX光电沪上某研旧有资助，进度不一，路线不。n
任何一方取终突破，提产EUV光刻机问世的间。